Такой трубкой, в частности, является выпускаемая японской фирмой «Toshiba» рентгеновская трубка М 5118В с размерами фокусного пятна 0,05х0,05 мм, допускающего увеличение изображения до 6 раз. В основе микрорентгенографии лежит получение рентгеновского изображения исследуемого объекта, увеличенного в десятки и даже сотни раз. Специально для этой цели служат рентгеновские микроскопы.

Обычно эти микроскопы допускают прямое увеличение рентгеновского изображения до 150 раз. Однако последующее оптическое увеличение данного изображения позволяет различить в нем детали, по своим размерам подобные тем образованиям, которые можно выявить при максимальном увеличении современных оптических микроскопов. Ввиду своей сложности рентгеновские микроскопы еще не получили достаточно широкого распространения и поэтому в практике нередко прибегают к помощи контактной микрорентгенографии.

Данный метод гораздо доступнее, так как он не требует специальной рентгеновской аппаратуры и может быть использован при наличии любого аппарата, рассчитанного на получение мягких рентгеновых лучей.